潔凈烘箱在競爭中打破格局
近年來，隨著全球半導(dǎo)體市場的不斷擴大和產(chǎn)品多樣化需求的增加，要求半導(dǎo)體芯片的生產(chǎn)工藝更為精細、嚴格。在這個背景下，潔凈烘箱這種先進的生產(chǎn)設(shè)備逐漸受到人們的關(guān)注和青睞。
潔凈烘箱是一種用于進行半導(dǎo)體生產(chǎn)中重要步驟的設(shè)備，其主要作用是對芯片進行加熱和干燥，以去除其中的水分和雜質(zhì)。同時還可以控制溫度、濕度等參數(shù)，確保半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的穩(wěn)定性和可靠性。
潔凈烘箱輸出信號控制PLC整個程序的運行，鉑電阻PT100測試信號至報警溫控儀與超溫報警設(shè)置溫度值進行比較，當實際溫度值低于設(shè)定值時，輸出控制信號給PLC，PLC程序正常運行。
實際溫度值超過設(shè)定值時，輸出控制信號給PLC，PLC關(guān)閉運行程序。故超溫報警的設(shè)置值一般要高于工作溫度的設(shè)定值。閉合空氣開關(guān)，按照該烘箱的操作說明書設(shè)置好加熱溫度250℃，超溫報警溫度260℃，保溫計時1h后，啟動其自動運行程序，潔凈烘箱的循環(huán)風(fēng)機、進風(fēng)機、碟閥、加熱等指示燈按順序亮起，表明程序運行正常。加熱運行2.5h后，烘箱溫度仍然達不到設(shè)定值，如果加熱時間過長，就會造成被加熱玻璃容器易碎，壞瓶率升高。
同時，造成能源浪費，耗電量增加以及烘箱的工作周期加長，致使在正常生產(chǎn)崗位的兩班制下不能按時完成該工藝環(huán)節(jié)，殆誤生產(chǎn)任務(wù)的進程計劃，且提高了生產(chǎn)成本。正常滿箱時溫度從室溫一直加熱到250℃需要2.5h，1個工作周期需要約6h。首先查看潔凈烘箱差壓表，判斷烘箱內(nèi)風(fēng)速是否正常，了解潔凈烘箱內(nèi)被加熱物品擺放是否過于密集，高溫高效過濾器是否堵塞，風(fēng)量調(diào)節(jié)板是否被改動，排除這些原因后，再判斷設(shè)備是否存在故障，造成熱風(fēng)循環(huán)空氣流通不好，濕熱空氣不能正常排放。
其次從故障現(xiàn)象和烘箱的電路原理分析，烘箱能夠加熱，說明智能電腦溫控儀輸出信號正常，PLC輸入輸出信號也正常。經(jīng)過上述故障分析，可以斷定控制信號和可調(diào)節(jié)部件均正常，然后我們從以下幾個方面進行檢查。首先核對一下潔凈烘箱的PID調(diào)節(jié)參數(shù)，看是否人為誤操作，致使設(shè)置參數(shù)變更，從而使得系統(tǒng)出現(xiàn)動作異常。PID參數(shù)直接影響著系統(tǒng)的調(diào)節(jié)精度，是控制系統(tǒng)設(shè)計的核心內(nèi)容。烘箱通過適當?shù)腜ID參數(shù)，PID控制可以根據(jù)系統(tǒng)被控過程的誤差特性，利用比例、積分、微分計算出系統(tǒng)控制量，得到相應(yīng)的輸出響應(yīng)特性，控制系統(tǒng)使其達到滿意的控制效果?；謴?fù)PID參數(shù)正常設(shè)置值。
在傳統(tǒng)的烘箱中，由于無法控制環(huán)境中的微小顆粒和氣體成分，可能會給半導(dǎo)體芯片帶來質(zhì)量問題。而潔凈烘箱則采用了嚴格的過濾和凈化系統(tǒng)，能夠有效地控制周圍環(huán)境中的各種污染物，從而保證芯片的質(zhì)量和可靠性。
目前，潔凈烘箱已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、電子元器件生產(chǎn)等高精度行業(yè)，成為了提高產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率的關(guān)鍵設(shè)備之一。在半導(dǎo)體領(lǐng)域，各大廠商已經(jīng)開始使用潔凈烘箱進行芯片生產(chǎn)，并不斷改進其技術(shù)和性能。
